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ウェハーエピ成長装置向けサセプター等精密治具

純度4N以上の高純度炭化ケイ素基板と純度6N以上のグラファイト基板を使用！

当社は、サプライヤ中国ORANGE社の公式代理店として、 「ウェハーエピ成長装置向けサセプター等精密治具」を 取り扱っております。 SiCエピタキシャルウェハ成長用SiC基板の保持に使用される 「6インチサセプター」は、チャンバー内にてウェハと直接接触し、 パワーデバイスに用いられます。 また、「予熱リング」は、Siエピタキシャル基板トレイの外周リング に配置され、基準校正および加熱に使用。垂直式sicエピタキシャル 設備に使われる「バルクSiCリング」もございます。 【ORANGE社の強み】 ■高純度セラミック基板 ■高精度の機械加工保証 ■高品質コーティング ■厳格な洗浄プロセス ■より競争力のあるコスト優位性 ■カスタマイズされたソリューション ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。